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17、第17章 真空的挑战（秀秀） ...
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浸润式DUV的战役尚未结束，光学镜头的“诅咒”依然如同达摩克利斯之剑高悬，但科技长征的脚步容不得半分停歇。在秀秀的推动和主导下，研发中心内部一个更具前瞻性、也更具挑战性的预研项目悄然启动——**极紫外（EUV）光刻技术**探索。
如果说DUV光刻是在微观世界进行精雕细琢的艺术，那么EUV光刻，则意味着要闯入一个物理规则都截然不同的、更为极端和陌生的领域。团队的工作重心，开始有一部分向着这座半导体工业的终极珠峰进行战略转移。而攀登这座高峰的第一步，并非直接攻坚最耀眼的光源或最精密的光学系统，而是要构建一个看似基础、却至关重要的环境——**超高真空**。
在团队首次EUV专题技术研讨会上，秀秀站在白板前，写下了两个关键的数字：**13.5 nm**。这是EUV光刻所使用的工作波长。
“各位，我知道大家对于DUV领域的挑战记忆犹新，”秀秀的目光扫过在场每一位核心成员，他们的脸上带着攻克难关的疲惫，也带着对未知领域的警惕，“但EUV与我们熟悉的一切都不同。它的第一个，也是最根本的不同，就体现在这个波长上。”
她顿了顿，让这个数字在众人心中沉淀。
“我们熟悉的DUV，使用193nm波长的深紫外光。这个波段的光，在空气中传播时，虽然也会被吸收和散射，但程度相对较轻，允许我们在常压或接近常压的纯净空气环境中进行光刻。”
“但是，**13.5 nm 的极紫外光，则完全是另一回事。**”秀秀的语气变得异常严肃，“这个波长的光子，能量极高，几乎与大多数原子的内层电子跃迁能级相当。这意味着什么？”
她在白板上画了一个简单的示意图，表示一束EUV光在空气中传播。
“这意味着，当13.5nm的光子穿过充满氮气、氧气、水蒸气以及其他微量成分的空气时，它会极其高效地与这些气体分子发生相互作用——**不是简单的散射，而是被强烈地吸收！**”
她引用了具体的数据：“实验表明，13.5nm波长的光在标准大气压下，其强度在传播仅仅**几毫米**的距离后，就会衰减到初始值的不到百分之一！换句话说，**空气对于EUV光来说，几乎是不透明的‘墙壁’！**”
会议室里响起一阵低低的吸气声。几毫米？这意味着，如果试图在空气中进行EUV光刻，从光源发出的光，根本走不到硅片表面，就会在路上被空气“吃掉”殆尽。
“这不仅仅是能量损失的问题，”秀秀继续深入解释，“被吸收的光子能量会转化为气体分子的内能，导致气体被加热、甚至被电离，产生不必要的等离子体，这会引入巨大的噪声和不稳定性，同时可能对精密的光学元件和硅片造成污染和损伤。”
她环视众人，给出了不容置疑的结论：“因此，**EUV光刻的整个光路——从光源产生，经过收集镜、照明系统、掩膜版，再到投影物镜最终聚焦到硅片上——必须处于一个极其洁净的、高度真空的环境中。** 这不是选择，而是EUV技术得以存在的**先决条件**！”
“我们需要建立的，不是普通的低真空，而是要求极高的**超高真空（UHV）**环境，通常需要达到**10^{-7} Pa 甚至更低的压强**。”她写下了这个令人咋舌的数字，10^{-7}帕斯卡，这比我们呼吸的空气稀薄了上百亿倍！
“这个真空环境，对我们提出了几个几乎严苛的要求，”秀秀开始剖析具体的挑战：
“第一，**真空获得与维持**。我们需要大抽速的分子泵、离子泵乃至低温泵组合，才能在合理时间内将庞大的、内部结构复杂的EUV光刻腔室抽到如此极端的真空度。并且，必须解决**漏率**问题，任何微小的泄漏都可能导致真空度无法维持，水汽、碳氢化合物等污染物会迅速吸附在冰冷的光学元件表面，形成‘碳污染层’， drastically降低EUV镜头的反射率。”
“第二，**材料放气**。在超高真空中，任何材料，包括金属、密封圈、电缆绝缘层、甚至润滑剂，都会缓慢地释放出内部吸附或溶解的气体分子（主要是水汽、氢气、一氧化碳等）。这些‘放气’会成为持续污染源，破坏真空环境，并污染光学元件。我们必须严格筛选低放气率的材料，并对所有部件进行长时间的**烘烤除气**处理。”
“第三，**动态密封与传输**。光刻过程需要硅片和掩膜版进出真空腔室，这涉及到复杂的真空锁和精密机械手。如何在保证超高真空的前提下，实现晶圆的高速、无损传输，是一个巨大的工程难题。运动部件带来的振动、摩擦产气，都是需要精确控制的魔鬼细节。”
“第四，**污染控制与监测**。我们需要在真空腔内布置高灵敏度的残余气体分析仪，实时监测真空品质，追踪污染物的来源。同时，需要考虑如何在不破坏真空的情况下，对被污染的光学元件进行在线或离线清洁。”
秀秀清晰而冷静地将EUV真空环境的极端要求和盘托出，每一个挑战都像一座需要翻越的小型雪山。会议室里鸦雀无声，大家的表情比刚才更加凝重。他们意识到，EUV不仅仅是一次技术升级，更是一次工程范式的彻底转换。他们要从一个“宏观”的、可以接触和调试的世界，进入一个必须隔绝一切、在极致“虚无”中操控光线的世界。
预研工作就在这种凝重的氛围中展开了。秀秀带领着一个精干的小组，开始搭建第一个EUV原理验证真空腔体。过程充满了挫败。第一个焊接成型的不锈钢腔体，在经过48小时连续抽气后，真空度卡在10^{-5} Pa再也上不去了。他们拿着氦质谱检漏仪，像外科医生一样一寸寸地探查，最终在一个看似完美的焊缝处找到了一个纳米级别的泄漏点。
更换材料后，新的问题又出现了。某个批次的陶瓷绝缘子在烘烤后出现了微裂纹，放气率超标。传输机构的某个密封圈在低温下失去了弹性，导致真空锁反复失败。
每一天，都在与这些看不见、摸不着，却又无比顽固的“细节魔鬼”搏斗。进展缓慢得令人心焦。团队成员们轮流值班，监控着真空泵组和数据记录仪，眼睛因为长时间盯着屏幕和仪表而布满血丝。
又是一个深夜，秀秀独自留在实验室里。巨大的真空腔体像一个沉默的金属巨兽，趴伏在实验室中央，发出分子泵低沉的嗡鸣。屏幕上，真空度的曲线缓慢地、挣扎着向下移动，但距离目标值依然遥远。疲惫和压力如同冰冷的潮水，一波波冲击着她的意志。她感到一种深入骨髓的劳累，不仅仅是身体上的，更是精神上的——面对着一个由物理定律设定的、近乎绝对的壁垒，那种人力有时而穷的无力感。
她趴在控制台前，本想只是休息片刻，却不知不觉地被睡意俘获。
不知过了多久，她感到有人轻轻拍了拍她的肩膀。她猛地惊醒，抬起头，朦胧的视线中，映入一个意想不到的身影。
墨子。
他就站在她身边，穿着一件深色的薄呢大衣，风尘仆仆，手里还提着一个印着某家知名港式茶餐厅logo的纸袋，里面散发出诱人的食物香气。
“你……你怎么来了？”秀秀揉了揉眼睛，几乎以为自己还在梦中。这里是高度保密的研发园区，他是怎么进来的？
“正好在附近城市有个会谈，结束了就过来看看。”墨子的语气一如既往的平静，仿佛深夜出现在国家级保密实验室是一件再正常不过的事情。他没有解释细节，只是将手中的纸袋放在控制台上，“给你带了点夜宵，虾饺和皮蛋瘦肉粥，趁热吃。”
秀秀愣愣地看着他，又看了看那袋还冒着热气的食物，一股难以言喻的暖流猝不及防地涌上心头，冲垮了她强撑的堤防。在这个孤立无援的深夜，在这个充满挫败感的实验室里，他的出现，像一颗突然划破夜空的流星，带来了短暂却无比真实的温暖和光亮。
“真空度……还是上不去。”她下意识地，像汇报工作一样，说出了眼前最大的困扰，声音里带着自己都未察觉的委屈。
墨子没有去看屏幕上的数据，他的目光落在秀秀疲惫却依然执着的脸上。
“我知道很难。”他的声音低沉而稳定，“对抗物理定律，从来都是最艰难的战斗。空气要吸收光，这是宇宙的规则。你们要做的，是在规则之内，开辟出一片违背‘常理’的空间。”
他指了指那个庞大的真空腔体：“这里面，不就是你们正在创造的、一个属于光的‘净土’吗？虽然现在还有很多‘杂质’，但每排除一个泄漏点，每降低一个数量级的压强，你们就离那片净土更近了一步。”
“别只看距离目标还有多远，”他看着她，眼神深邃，“看看你们已经从常压走到了哪里。从10^5 Pa到10^{-5} Pa，你们已经跨越了十个数量级的障碍。剩下的路，固然艰难，但你们已经证明了，这条路是走得通的。”
他的话，没有华丽的辞藻，却像一把精准的钥匙，打开了秀秀心中被压力和疲惫锁住的斗志。是啊，他们已经在对抗物理定律的道路上，迈出了坚实而惊人的步伐。每一个被发现的泄漏点，每一个被解决的放气源，都是值得庆祝的微小胜利。
她打开还温热的粥碗，食物的香气弥漫在充满机油和电子设备味道的实验室里，带来一种奇异的、生活化的慰藉。
“谢谢。”她低声说，这一次，包含了更复杂的情绪。
“快吃吧。”墨子微微颔首，“我等你吃完再走。”
秀秀低下头，小口地吃着粥，感觉冰冷的身体和心灵都在一点点回暖。墨子则安静地站在一旁，目光偶尔扫过那些复杂的真空设备和监控屏幕，没有过多的询问，只是一种无声的陪伴。
在这个为EUV之光准备“真空摇篮”的深夜里，他的突然到来和简单的鼓励，像一束意外的、温暖的光，照进了秀秀充满技术挑战的世界。它无法直接提升真空度，无法解决材料放气问题，但它为她注入了某种看不见却至关重要的能量——一种被理解、被支持、被相信的感觉。她知道，吃完这碗粥，她将继续面对那些冰冷的设备和顽固的难题，但至少此刻，她不再是独自一人，在无尽的黑暗中摸索。那份来自另一个世界的、沉默而坚定的支持，将成为她继续向这片“虚无”之境发起冲击的、一份珍贵的精神储备。
